Ultra shallow junction formation technologies and device design for deep sub-micron generation

• Material Type: 博士論文
• Title: Ultra shallow junction formation technologies and device design for deep sub-micron generation
• Author/Editor: Akio Shima [著]
• Author Heading: 島, 明生 シマ, アキオ
• Publication, Distribution, etc.: [Akio Shima]
• Publication Date: [2008]
• Publication Date (W3CDTF): 2008
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 極浅接合形成技術とそのシリコン集積回路プロセス設計への応用に関する研究 キョクセン セツゴウ ケイセイ ギジュツ ト ソノ シリコン シュウセキ カイロ プロセス セッケイ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 早稲田大学
• Date Granted: 平成20年2月25日
• Date Granted (W3CDTF): 2008
• Dissertation Number: 乙第2157号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2008-B992
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000009367566; http://id.ndl.go.jp/bib/000009367566
• Bibliographic Record Category (NDL): 213