LSI微細Cu配線におけるエレクトロマイグレーション信頼性に関する研究

LSI微細Cu配線におけるエレクトロマイグレーション信頼性に関する研究

Call No. (NDL): UT51-2008-C51
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009368733

Material type: 博士論文

Author: 横川慎二 [著]

Publisher: [横川慎二]

Publication date: [2008]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 電気通信大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: LSI微細Cu配線におけるエレクトロマイグレーション信頼性に関する研究
Title Transcription: LSI ビサイ Cu ハイセンニオケルエレクトロマイグレーションシンライセイニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 横川慎二 [著]
Author Heading: 横川, 慎二ヨコガワ, シンジ
Publication, Distribution, etc.: [横川慎二]
Publication Date: [2008]
Publication Date (W3CDTF): 2008
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 電気通信大学
Date Granted: 平成20年3月24日
Date Granted (W3CDTF): 2008
Dissertation Number: 乙第122号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2008-C51
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009368733
http://id.ndl.go.jp/bib/000009368733
Bibliographic Record Category (NDL): 213