窒化シリコン薄膜の化学気相堆積過程 : 有機窒化シリコン分子を原料として

Call No. (NDL): Y151-H17550009
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009374382

Material type: 図書

Author: 梅本宏信, 静岡大学, 北陸先端科学技術大学院大学 [著]

Publisher: [梅本宏信]

Publication date: 2005-2006

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 72p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 窒化シリコン薄膜の化学気相堆積過程 : 有機窒化シリコン分子を原料として
Title Transcription: チッカシリコンハクマクノカガクキソウタイセキカテイ : ユウキチッカシリコンブンシオゲンリョウトシテ
Author/Editor: 梅本宏信, 静岡大学, 北陸先端科学技術大学院大学 [著]
Author Heading: 梅本, 宏信ウメモト, ヒロノブ ( 01223660 )Authorities
静岡大学シズオカダイガク ( 00302677 )Authorities
北陸先端科学技術大学院大学ホクリクセンタンカガクギジュツダイガクインダイガク ( 00366751 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [梅本宏信]
Publication Date: 2005-2006
2007.5
Publication Date (W3CDTF): 2005
2006
Extent: 72p
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: 化学気相堆積 / 窒化シリコン薄膜 / 炭窒化シリコン薄膜 / 有機窒化シリコン / 活性窒素 / 質量分析カガクキソウタイセキ / チッカシリコンハクマク / スミチッカシリコンハクマク / ユウキチッカシリコン / カッセイチッソ / シツリョウブンセキ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 17550009
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H17550009
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009374382
http://id.ndl.go.jp/bib/000009374382
Bibliographic Record Category (NDL): 214