負イオン注入法によるシリコン熱酸化膜中のナノ粒子形成

負イオン注入法によるシリコン熱酸化膜中のナノ粒子形成

Call No. (NDL): UT51-2008-C742
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009376473

Material type: 博士論文

Author: 洗暢俊 [著]

Publisher: [洗暢俊]

Publication date: [2008]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 京都大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 負イオン注入法によるシリコン熱酸化膜中のナノ粒子形成
Title Transcription: フイオンチュウニュウホウニヨルシリコンネツサンカマクチュウノナノリュウシケイセイ
Author/Editor: 洗暢俊 [著]
Author Heading: 洗, 暢俊アライ, ノブトシ
Publication, Distribution, etc.: [洗暢俊]
Publication Date: [2008]
Publication Date (W3CDTF): 2008
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 京都大学
Date Granted: 平成20年3月24日
Date Granted (W3CDTF): 2008
Dissertation Number: 甲第13826号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2008-C742
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009376473
http://id.ndl.go.jp/bib/000009376473
Bibliographic Record Category (NDL): 213