MEMSデバイスの加工・実装に対応したフォトリソグラフィとめっき技術の応用

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Material Type: 博士論文
Title: MEMSデバイスの加工・実装に対応したフォトリソグラフィとめっき技術の応用
Title Transcription: MEMS デバイスノカコウジッソウニタイオウシタフォトリソグラフィトメッキギジュツノオウヨウ
Author/Editor: 三隅浩一 [著]
Author Heading: 三隅, 浩一ミスミ, コウイチ
Publication, Distribution, etc.: [三隅浩一]
Publication Date: [2008]
Publication Date (W3CDTF): 2008
Extent: 1冊
Alternative Title: The application of photolithography and plating technology for packaging and MEMS devices
Degree grantor/type: 関東学院大学
Date Granted: 平成20年3月24日
Date Granted (W3CDTF): 2008
Dissertation Number: 甲第95号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2008-D9
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009401879
http://id.ndl.go.jp/bib/000009401879
Bibliographic Record Category (NDL): 213