Characterization of electrical properties and dielectric breakdown of Hf-based high-k dielectrics

• Material Type: 博士論文
• Title: Characterization of electrical properties and dielectric breakdown of Hf-based high-k dielectrics
• Author/Editor: Yanli Pei [著]
• Author Heading: 裴, 艶麗 ペイ, ヤンリ
• Publication, Distribution, etc.: [Yanli Pei]
• Publication Date: [2006]
• Publication Date (W3CDTF): 2006
• Extent: 1冊
• Alternative Title: ハフニウム系高誘電率絶縁膜の電気特性及び絶縁破壊に関する研究 ハフニウムケイ コウユウデンリツ ゼツエンマク ノ デンキ トクセイ オヨビ ゼツエン ハカイ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 広島大学
• Date Granted: 平成18年12月22日
• Date Granted (W3CDTF): 2006
• Dissertation Number: 甲第4102号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• Alias of Author: Pei, Yanli
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2008-G290
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000009480061; http://id.ndl.go.jp/bib/000009480061
• Bibliographic Record Category (NDL): 213