プラズマ共重合による低誘電率絶縁膜形成技術の研究

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Material Type: 博士論文
Title: プラズマ共重合による低誘電率絶縁膜形成技術の研究
Title Transcription: プラズマキョウジュウゴウニヨルテイユウデンリツゼツエンマクケイセイギジュツノケンキュウ
Author/Editor: 川原潤 [著]
Author Heading: 川原, 潤カワハラ, ジュン
Publication, Distribution, etc.: [川原潤]
Publication Date: [2007]
Publication Date (W3CDTF): 2007
Extent: 1冊
Alternative Title: Plasma-enhanced co-polymerization for low-k film deposition
Degree grantor/type: 広島大学
Date Granted: 平成19年5月18日
Date Granted (W3CDTF): 2007
Dissertation Number: 甲第4384号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2008-G336
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009480169
http://id.ndl.go.jp/bib/000009480169
Bibliographic Record Category (NDL): 213