博士論文

LSI配線材料の高信頼化を目的とした分子動力学シミュレーション

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LSI配線材料の高信頼化を目的とした分子動力学シミュレーション

Call No. (NDL)
UT51-2008-G869
Bibliographic ID of National Diet Library
000009505933
Material type
博士論文
Author
赤羽智明 [著]
Publisher
[赤羽智明]
Publication date
[2008]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
茨城大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title
LSI配線材料の高信頼化を目的とした分子動力学シミュレーション
Title Transcription
LSI ハイセン ザイリョウ ノ コウシンライカ オ モクテキ ト シタ ブンシ ドウリキガク シミュレーション
Author/Editor
赤羽智明 [著]
Author Heading
赤羽, 智明 アカバネ, トモアキ
Publication, Distribution, etc.
[赤羽智明]
Publication Date
[2008]
Publication Date (W3CDTF)
2008
Extent
1冊
Degree grantor/type
茨城大学