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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- ナノエレクトロメカニカル コウゾウ オ ナイゾウスル コウキノウ シリコン タンデンシ フクゴウ ソシ ノ ソウセイ
- Author/Editor
- 水田博, 東京工業大学 [著]
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2006-20072008.3
- Publication Date (W3CDTF)
- 20062007
- Extent
- 5, 109p
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(B)