超臨界ナノプレーティング法による超微細配線製造技術の研究

• Material Type: 図書
• Title: 超臨界ナノプレーティング法による超微細配線製造技術の研究
• Title Transcription: チョウリンカイ ナノプレーティングホウ ニ ヨル チョウビサイ ハイセン セイゾウ ギジュツ ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 曽根正人, 東京工業大学 [著]
• Author Heading: 曽根, 正人 ソネ, マサト; 東京工業大学 トウキョウ コウギョウ ダイガク
• Publication, Distribution, etc.: [曽根正人]
• Publication Date: 2006-2007; 2008.6
• Publication Date (W3CDTF): 2006; 2007
• Extent: 1冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn; eng
• Subject Heading: めっき / 精密造形プロセス / 微細プロセス技術 / 超臨界流体 / 表面処理 メッキ / セイミツ ゾウケイ プロセス / ビサイ プロセス ギジュツ / チョウリンカイ リュウタイ / ヒョウメン ショリ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 18360350
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H18360350
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000009517230; http://id.ndl.go.jp/bib/000009517230
• Bibliographic Record Category (NDL): 214