Studies on high-pressure magnetron sputtering plasmas using laser-aided diagnostic techniques

• Material Type: 博士論文
• Title: Studies on high-pressure magnetron sputtering plasmas using laser-aided diagnostic techniques
• Author/Editor: Nafarizal Bin Nayan [著]
• Author Heading: Nafarizal Bin Nayan ナファリザル ビン ナヤン
• Publication, Distribution, etc.: [Nafarizal Bin Nayan]
• Publication Date: [2008]
• Publication Date (W3CDTF): 2008
• Extent: 1冊
• Alternative Title: レーザー診断技術を用いた高ガス圧マグネトロンスパッタリングプラズマに関する研究 レーザー シンダン ギジュツ オ モチイタ コウガスアツ マグネトロン スパッタリング プラズマ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 名古屋大学
• Date Granted: 平成20年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 2008
• Dissertation Number: 甲第7967号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2008-H268
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000009521164; http://id.ndl.go.jp/bib/000009521164
• Bibliographic Record Category (NDL): 213