レーザープラズマ軟X線光源を用いた超高分解能多元物質顕微鏡の開発

Call No. (NDL): Y151-H15002001
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009532451

Material type: 図書

Author: 山本正樹, 東北大学 [著]

Publisher: [山本正樹]

Publication date: 2003-2007

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: レーザープラズマ軟X線光源を用いた超高分解能多元物質顕微鏡の開発
Title Transcription: レーザープラズマナンXセンコウゲンオモチイタチョウコウブンカイノウタゲンブッシツケンビキョウノカイハツ
Author/Editor: 山本正樹, 東北大学 [著]
Author Heading: 山本, 正樹ヤマモト, マサキ
東北大学トウホクダイガク
Publication, Distribution, etc.: [山本正樹]
Publication Date: 2003-2007
2008.5
Publication Date (W3CDTF): 2003
2007
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目特別推進研究
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 軟X線 / 多層膜 / 顕微鏡 / レーザープラズマ / 周期膜厚分布制御 / スパッタリング / エリプソメーター / 成膜レートモニターナン Xセン / タソウマク / ケンビキョウ / レーザープラズマ / シュウキマクアツブンプセイギョ / スパッタリング / エリプソメーター / セイマクレートモニター
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15002001
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15002001
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009532451
http://id.ndl.go.jp/bib/000009532451
Bibliographic Record Category (NDL): 214