産業技術研究開発委託費(MEMSデバイス機構材料の特性計測評価方法に関する標準化)成果報告書第1分冊

産業技術研究開発委託費(MEMSデバイス機構材料の特性計測評価方法に関する標準化)成果報告書. 第1分冊

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Material Type: 図書
Title: 産業技術研究開発委託費(MEMSデバイス機構材料の特性計測評価方法に関する標準化)成果報告書
Title Transcription: サンギョウギジュツケンキュウカイハツイタクヒ MEMS デバイスキコウザイリョウノトクセイケイソクヒョウカホウホウニカンスルヒョウジュンカセイカホウコクショ
Volume: 第1分冊
Author Heading: マイクロマシンセンターマイクロマシンセンター ( 00732082 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [東京] : マイクロマシンセンター
Publication Date: 2008.3
Publication Date (W3CDTF): 2008
Extent: 188p
Size: 30cm
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: マイクロマシンマイクロマシン ( 00577044 )Authorities
NDC 9th ed.: 530 : Mechanical engineering
NDLC: NB21
Target Audience: 一般
Note (General): 平成19年度経済産業省委託事業成果
Note (Bibliography): 文献あり
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: NB21-J21
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009545256
http://id.ndl.go.jp/bib/000009545256
National Bibliography No. (JPNO): 21485151
Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
Bibliographic Record Category (NDL): 111