シリコン半導体プロセスにおけるゲッタリングに関する研究

シリコン半導体プロセスにおけるゲッタリングに関する研究

Call No. (NDL): UT51-2008-H720
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009579319

Material type: 博士論文

Author: 堀川貢弘 [著]

Publisher: [堀川貢弘]

Publication date: [2008]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 九州大学,博士 (工学)

Notes on use

Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: シリコン半導体プロセスにおけるゲッタリングに関する研究
Title Transcription: シリコンハンドウタイプロセスニオケルゲッタリングニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 堀川貢弘 [著]
Author Heading: 堀川, 貢弘ホリカワ, ミツヒロ
Publication, Distribution, etc.: [堀川貢弘]
Publication Date: [2008]
Publication Date (W3CDTF): 2008
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 九州大学
Date Granted: 平成20年2月28日
Date Granted (W3CDTF): 2008
Dissertation Number: 乙第8145号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2008-H720
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009579319
http://id.ndl.go.jp/bib/000009579319
Bibliographic Record Category (NDL): 213