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ウェハー上のマイクロ冷凍機

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ウェハー上のマイクロ冷凍機

Call No. (NDL)
Y151-H18560203
Bibliographic ID of National Diet Library
000009580436
Material type
図書
Author
久保田裕巳, 九州大学 [著]
Publisher
[久保田裕巳]
Publication date
2006-2007
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
37枚
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ウェハージョウ ノ マイクロ レイトウキ
Author/Editor
久保田裕巳, 九州大学 [著]
Author Heading
久保田, 裕巳 クボタ, ヒロミ
九州大学 キュウシュウ ダイガク
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2006-2007
2008.3
Publication Date (W3CDTF)
2006
2007
Extent
37枚
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)