ウェハー上のマイクロ冷凍機

ウェハー上のマイクロ冷凍機

Call No. (NDL): Y151-H18560203
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009580436

Material type: 図書

Author: 久保田裕巳, 九州大学 [著]

Publisher: [久保田裕巳]

Publication date: 2006-2007

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 37枚

NDC: -

Notes on use

Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 図書
Title: ウェハー上のマイクロ冷凍機
Title Transcription: ウェハージョウノマイクロレイトウキ
Author/Editor: 久保田裕巳, 九州大学 [著]
Author Heading: 久保田, 裕巳クボタ, ヒロミ
九州大学キュウシュウダイガク
Publication, Distribution, etc.: [久保田裕巳]
Publication Date: 2006-2007
2008.3
Publication Date (W3CDTF): 2006
2007
Extent: 37枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: マイクロ・デバイス / 冷凍機 / ウェハーマイクロ・デバイス / レイトウキ / ウェハー
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 18560203
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H18560203
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009580436
http://id.ndl.go.jp/bib/000009580436
Bibliographic Record Category (NDL): 214