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ダイヤモンドペレットによる4way方式研削における超高平坦化プロセス技術の開発

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ダイヤモンドペレットによる4way方式研削における超高平坦化プロセス技術の開発

Call No. (NDL)
Y151-H18560116
Bibliographic ID of National Diet Library
000009581183
Material type
図書
Author
石川憲一, 金沢工業大学 [著]
Publisher
[石川憲一]
Publication date
2006-2007
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
81枚
NDC
-
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Note (General)：

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title
ダイヤモンドペレットによる4way方式研削における超高平坦化プロセス技術の開発
Title Transcription
ダイヤモンド ペレット ニ ヨル 4 way ホウシキ ケンサク ニ オケル チョウ コウヘイタンカ プロセス ギジュツ ノ カイハツ
Author/Editor
石川憲一, 金沢工業大学 [著]
Author Heading
石川, 憲一, 1943- イシカワ, ケンイチ, 1943- ( 00190722 )Authorities
金沢工業大学 カナザワ コウギョウ ダイガク ( 00286144 )Authorities
Publication, Distribution, etc.
[石川憲一]
Publication Date
2006-2007
2008.3
Publication Date (W3CDTF)
2006
2007
Extent
81枚
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)