空圧アクチュエータを内蔵した高真空対応型非接触・精密位置決め機構の開発

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Material Type: 図書
Title: 空圧アクチュエータを内蔵した高真空対応型非接触・精密位置決め機構の開発
Title Transcription: クウアツアクチュエータオナイゾウシタコウシンクウタイオウガタヒセッショクセイミツイチギメキコウノカイハツ
Author/Editor: 吉本成香, 東京理科大学 [著]
Author Heading: 吉本, 成香ヨシモト, シゲカ ( 00934213 )Authorities
東京理科大学トウキョウリカダイガク ( 00305981 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [吉本成香]
Publication Date: 2006-2007
2008.5
Publication Date (W3CDTF): 2006
2007
Extent: 78, 40p
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 静圧空気軸受 / 真空度 / 位置決め機構 / 表面絞りセイアツクウキジクウケ / シンクウド / イチギメキコウ / ヒョウメンシボリ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 18560142
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H18560142
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009608394
http://id.ndl.go.jp/bib/000009608394
Bibliographic Record Category (NDL): 214