半導体故障解析・分析技術大全. 2009

• Material Type: 図書
• Title: 半導体故障解析・分析技術大全
• Title Transcription: ハンドウタイ コショウ カイセキ ブンセキ ギジュツ タイゼン
• Volume: 2009
• Series Title: Electronic journal別冊
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : 電子ジャーナル
• Publication Date: 2008.10
• Publication Date (W3CDTF): 2008
• Extent: 412p
• Size: 28cm
• Alternative Title: Semiconductor failure analysis technology outlook
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: 半導体 ハンドウタイ ( 00562913 )Authorities
• NDC 9th ed.: 549.8 : Electronic engineering
• NDLC: ND371
• NDC (Introduction of Reference Books): 549.8
• Target Audience: 一般
• Note (Bibliography): 文献あり
• Price: 63000円 (税込)
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: ND371-J37
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000009619709; http://id.ndl.go.jp/bib/000009619709
• National Bibliography No. (JPNO): 21483411
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 112

Table of Contents

2009半導体故障解析・分析技術大全 CONTENTS

第1編 故障解析・分析総論

第1章 絞り込み手法の現状と動向/ 18

第2章 物理化学的解析手法の現状と動向/ 26

第3章 LSI製造における故障解析・分析技術の現状と課題/ 35