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博士論文

有機シランを用いたSi基板上3C-SiC薄膜形成に関する研究

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有機シランを用いたSi基板上3C-SiC薄膜形成に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2008-J410
Bibliographic ID of National Diet Library
000009630293
Material type
博士論文
Author
今野篤史 [著]
Publisher
[今野篤史]
Publication date
[2008]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
東北大学,博士 (工学)
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Note (General):

博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
ユウキ シラン オ モチイタ Si キバンジョウ 3C-SiC ハクマク ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
今野篤史 [著]
Author Heading
今野, 篤史 コンノ, アツシ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
[2008]
Publication Date (W3CDTF)
2008
Extent
1冊
Degree grantor/type
東北大学