博士論文

高集積化LSIにおける高誘電率ゲート絶縁膜に関する研究

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高集積化LSIにおける高誘電率ゲート絶縁膜に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2008-K636
Bibliographic ID of National Diet Library
000009721744
Material type
博士論文
Author
佐藤基之 [著]
Publisher
[佐藤基之]
Publication date
[2008]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
筑波大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
コウシュウセキカ LSI ニ オケル コウユウデンリツ ゲート ゼツエンマク ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
佐藤基之 [著]
Author Heading
佐藤, 基之 サトウ, モトユキ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
[2008]
Publication Date (W3CDTF)
2008
Extent
1冊
Degree grantor/type
筑波大学