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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ナノ ケッショウ シリコン リョウシ ドット ノ ヒョウメン シュウショク ト ハイレツ セイギョ
- Author/Editor
- 田中敦之 [著]
- Author Heading
- 田中, 敦之 タナカ, アツシ
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- [2008]
- Publication Date (W3CDTF)
- 2008
- Extent
- 1冊
- Degree grantor/type
- 東京工業大学