博士論文

差動排気シールを用いた真空装置用位置決めテーブル系に関する研究

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差動排気シールを用いた真空装置用位置決めテーブル系に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2008-M408
Bibliographic ID of National Diet Library
000009904635
Material type
博士論文
Author
中村剛 [著]
Publisher
[中村剛]
Publication date
[2008]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
東京工業大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
サドウ ハイキ シール オ モチイタ シンクウ ソウチヨウ イチギメ テーブルケイ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
中村剛 [著]
Author Heading
中村, 剛 ナカムラ, ツヨシ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
[2008]
Publication Date (W3CDTF)
2008
Extent
1冊
Degree grantor/type
東京工業大学