MEMSの技術動向

• Material Type: 図書
• Title: MEMSの技術動向
• Title Transcription: MEMS ノ ギジュツ ドウコウ
• Series Title: TRC R & D library
• Author Heading: 東レリサーチセンター トウレ リサーチ センター ( 00306703 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : 東レリサーチセンター調査研究部
• Publication Date: 2008.9
• Publication Date (W3CDTF): 2008
• Extent: 510p
• Size: 30cm
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: マイクロマシン マイクロマシン ( 00577044 )Authorities
• NDC 9th ed.: 530 : Mechanical engineering
• NDLC: NB21
• Target Audience: 一般
• Price: 68000円
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: NB21-J23
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000009948167; http://id.ndl.go.jp/bib/000009948167
• National Bibliography No. (JPNO): 21528191
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111

Table of Contents

目次

1章 MEMSの現状と課題/ 1

1.1 MEMSの可能性/ 1

1.1.1 MEMS(小型化)のメリット/ 1

(1) 低コスト化/ 1