スパッタ法による3族窒化物半導体のエピタキシャル成長とその評価

スパッタ法による3族窒化物半導体のエピタキシャル成長とその評価

Call No. (NDL): UT51-2008-N945
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009979140

Material type: 博士論文

Author: 篠田宏之 [著]

Publisher: [篠田宏之]

Publication date: [2007]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 東京電機大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: スパッタ法による3族窒化物半導体のエピタキシャル成長とその評価
Title Transcription: スパッタホウニヨル 3ゾクチッカブツハンドウタイノエピタキシャルセイチョウトソノヒョウカ
Author/Editor: 篠田宏之 [著]
Author Heading: 篠田, 宏之シノダ, ヒロユキ
Publication, Distribution, etc.: [篠田宏之]
Publication Date: [2007]
Publication Date (W3CDTF): 2007
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 東京電機大学
Date Granted: 平成19年3月9日
Date Granted (W3CDTF): 2007
Dissertation Number: 乙第6号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2008-N945
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009979140
http://id.ndl.go.jp/bib/000009979140
Bibliographic Record Category (NDL): 213