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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- タカク バレル スパッタリングホウ オ モチイタ ネンリョウ デンチヨウ アノード ショクバイ ノ ソウセイ
- Author/Editor
- 井上光浩 [著]
- Author Heading
- 井上, 光浩 イノウエ, ミツヒロ
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- [2008]
- Publication Date (W3CDTF)
- 2008
- Extent
- 1冊
- Degree grantor/type
- 富山大学