Hygroscopic tolerance and permittivity enhancement of phase-controlled La2O3 for high-k gate insulators

• Material Type: 博士論文
• Title: Hygroscopic tolerance and permittivity enhancement of phase-controlled La2O3 for high-k gate insulators
• Author/Editor: Yi Zhao [著]
• Author Heading: 趙, 毅 チョウ, イ
• Publication, Distribution, etc.: [Yi Zhao]
• Publication Date: [2007]
• Publication Date (W3CDTF): 2007
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 高誘電率ゲート絶縁膜に向けたランタン酸化物薄膜の相を制御することによる耐吸湿性向上および高誘電率化の研究 コウユウデンリツ ゲート ゼツエンマク ニ ムケタ ランタン サンカブツ ハクマク ノ ソウ オ セイギョスル コト ニ ヨル タイキュウシツセイ コウジョウ オヨビ コウユウデンリツカ ノ ケンキュウ
• Degree grantor/type: 東京大学
• Date Granted: 平成19年9月28日
• Date Granted (W3CDTF): 2007
• Dissertation Number: 甲第23033号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• Alias of Author: Zhao, Yi
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2008-R679
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000010052370; http://id.ndl.go.jp/bib/000010052370
• Bibliographic Record Category (NDL): 213