変調照明シフトによる光学式超解像欠陥計測に関する研究

変調照明シフトによる光学式超解像欠陥計測に関する研究

Call No. (NDL): UT51-2008-S58
Bibliographic ID of National Diet Library: 000010056428

Material type: 博士論文

Author: 臼杵深 [著]

Publisher: [臼杵深]

Publication date: [2008]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 東京大学,博士 (工学)

Notes on use

Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 変調照明シフトによる光学式超解像欠陥計測に関する研究
Title Transcription: ヘンチョウショウメイシフトニヨルコウガクシキチョウカイゾウケッカンケイソクニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 臼杵深 [著]
Author Heading: 臼杵, 深ウスキ, シン
Publication, Distribution, etc.: [臼杵深]
Publication Date: [2008]
Publication Date (W3CDTF): 2008
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 東京大学
Date Granted: 平成20年3月24日
Date Granted (W3CDTF): 2008
Dissertation Number: 甲第23417号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2008-S58
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000010056428
http://id.ndl.go.jp/bib/000010056428
Bibliographic Record Category (NDL): 213