光学的誤差要因解析に基づく集積回路パターン位置検出のロバスト性向上に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 光学的誤差要因解析に基づく集積回路パターン位置検出のロバスト性向上に関する研究
• Title Transcription: コウガクテキ ゴサ ヨウイン カイセキ ニ モトズク シュウセキ カイロ パターン イチ ケンシュツ ノ ロバストセイ コウジョウ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 中村 (菅谷) 綾子 [著]
• Author Heading: 中村, 綾子 ナカムラ, アヤコ; 菅谷, 綾子 スガヤ, アヤコ
• Publication, Distribution, etc.: [中村 (菅谷) 綾子]
• Publication Date: [2007]
• Publication Date (W3CDTF): 2007
• Extent: 1冊
• Degree grantor/type: 東京大学
• Date Granted: 平成19年12月14日
• Date Granted (W3CDTF): 2007
• Dissertation Number: 乙第16871号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2008-S704
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000010063860; http://id.ndl.go.jp/bib/000010063860
• Bibliographic Record Category (NDL): 213