兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 = Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo

• Material Type: 雑誌
• Title: 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集
• Title Transcription: ヒョウゴ ケンリツ ダイガク コウガク ケンキュウカ イオン コウガク ケンキュウシツ ロンブンシュウ
• Volume: 2014年度
• Author Heading: 兵庫県立大学大学院工学研究科 ヒョウゴ ケンリツ ダイガク ダイガクイン コウガク ケンキュウカ ( 01158196 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 姫路 : 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室
• Year and volume of publication: 平成19年度-
• Size: 26cm
• Alternative Title: Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo; Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo; イオン工学研究室論文集 イオン コウガク ケンキュウシツ ロンブンシュウ
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn; eng
• Content Type: テキスト
• Media Type: 機器不用
• Carrier Type: 冊子
• NDLC: ZP5
• Note (General): 本タイトル等は最新号による
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Z74-E130
• Replaces: 継続前; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000008363084
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000010087624; http://id.ndl.go.jp/bib/000010087624
• National Bibliography No. (JPNO): 01022634
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 131

Table of Contents

Cu Pattern Etching by Oxygen Gas Cluster Ion Beams with Acetic Acid Vapor

Historical milestones and future prospects of cluster ion beam technology

XPS study of effects of water vapor during Ar-GCIB irradiations on PMMA

Progress and applications of cluster ion beam technology

Sub-30 nm thick plasmonic films and structures with ultralow loss