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基準認証研究開発事業(MEMSデバイス機構材料の特性計測評価方法に関する標準化)成果報告書 平成20年度

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基準認証研究開発事業(MEMSデバイス機構材料の特性計測評価方法に関する標準化)成果報告書. 平成20年度

Call No. (NDL)
NB21-J29
Bibliographic ID of National Diet Library
000010300346
Material type
図書
Author
マイクロマシンセンター
Publisher
マイクロマシンセンター
Publication date
2009.3
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
192p ; 30cm
NDC
530
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Note (General):

平成20年度経済産業省委託事業成果

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
キジュン ニンショウ ケンキュウ カイハツ ジギョウ MEMS デバイス キコウ ザイリョウ ノ トクセイ ケイソク ヒョウカ ホウホウ ニ カンスル ヒョウジュンカ セイカ ホウコクショ
Volume
平成20年度
Author Heading
マイクロマシンセンター マイクロマシン センター ( 00732082 )Authorities
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2009.3
Publication Date (W3CDTF)
2009
Extent
192p
Size
30cm