博士論文

半導体デバイス製造プロセスにおける絶縁膜のプラズマエッチング技術に関する研究

Icons representing 博士論文

半導体デバイス製造プロセスにおける絶縁膜のプラズマエッチング技術に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2009-D553
Bibliographic ID of National Diet Library
000010332435
Material type
博士論文
Author
今井伸一 [著]
Publisher
[今井伸一]
Publication date
[2009]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
京都大学,博士 (工学)
View All

Notes on use

Note (General)：

博士論文

Search by Bookstore

Search by Bookstore

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type
博士論文
Title
半導体デバイス製造プロセスにおける絶縁膜のプラズマエッチング技術に関する研究
Title Transcription
ハンドウタイ デバイス セイゾウ プロセス ニ オケル ゼツエンマク ノ プラズマ エッチング ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
今井伸一 [著]
Author Heading
今井, 伸一 イマイ, シンイチ
Publication, Distribution, etc.
[今井伸一]
Publication Date
[2009]
Publication Date (W3CDTF)
2009
Extent
1冊
Degree grantor/type
京都大学