プラズマプロセスを利用した薄膜電子材料の生成と評価に関する研究

プラズマプロセスを利用した薄膜電子材料の生成と評価に関する研究

Call No. (NDL): UT51-2009-F591
Bibliographic ID of National Diet Library: 000010439185

Material type: 博士論文

Author: 吉野正樹 [著]

Publisher: [吉野正樹]

Publication date: [2009]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 室蘭工業大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: プラズマプロセスを利用した薄膜電子材料の生成と評価に関する研究
Title Transcription: プラズマプロセスオリヨウシタハクマクデンシザイリョウノセイセイトヒョウカニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 吉野正樹 [著]
Author Heading: 吉野, 正樹ヨシノ, マサキ
Publication, Distribution, etc.: [吉野正樹]
Publication Date: [2009]
Publication Date (W3CDTF): 2009
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 室蘭工業大学
Date Granted: 平成21年3月23日
Date Granted (W3CDTF): 2009
Dissertation Number: 乙第69号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2009-F591
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000010439185
http://id.ndl.go.jp/bib/000010439185
Bibliographic Record Category (NDL): 213