博士論文

プラズマプロセスを利用した薄膜電子材料の生成と評価に関する研究

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プラズマプロセスを利用した薄膜電子材料の生成と評価に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2009-F591
Bibliographic ID of National Diet Library
000010439185
Material type
博士論文
Author
吉野正樹 [著]
Publisher
[吉野正樹]
Publication date
[2009]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
室蘭工業大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title
プラズマプロセスを利用した薄膜電子材料の生成と評価に関する研究
Title Transcription
プラズマ プロセス オ リヨウシタ ハクマク デンシ ザイリョウ ノ セイセイ ト ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
吉野正樹 [著]
Author Heading
吉野, 正樹 ヨシノ, マサキ
Publication, Distribution, etc.
[吉野正樹]
Publication Date
[2009]
Publication Date (W3CDTF)
2009
Extent
1冊
Degree grantor/type
室蘭工業大学