半導体における二次イオン質量分析法の深さ方向分析に関する研究

半導体における二次イオン質量分析法の深さ方向分析に関する研究

Call No. (NDL): UT51-2009-G891
Bibliographic ID of National Diet Library: 000010495860

Material type: 博士論文

Author: 高野明雄 [著]

Publisher: [高野明雄]

Publication date: [2009]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 茨城大学,博士 (工学)

Notes on use

Note (General)：: 博士論文

Search by Bookstore

Search by Bookstore

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type: 博士論文
Title: 半導体における二次イオン質量分析法の深さ方向分析に関する研究
Title Transcription: ハンドウタイニオケルニジイオンシツリョウブンセキホウノフカサホウコウブンセキニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 高野明雄 [著]
Author Heading: 高野, 明雄タカノ, アキオ
Publication, Distribution, etc.: [高野明雄]
Publication Date: [2009]
Publication Date (W3CDTF): 2009
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 茨城大学
Date Granted: 平成21年3月24日
Date Granted (W3CDTF): 2009
Dissertation Number: 甲第411号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2009-G891
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000010495860
http://id.ndl.go.jp/bib/000010495860
Bibliographic Record Category (NDL): 213