博士論文

半導体材料の高能率超精密切削加工に関する研究

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半導体材料の高能率超精密切削加工に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2009-J410
Bibliographic ID of National Diet Library
000010574426
Material type
博士論文
Author
太田努 [著]
Publisher
[太田努]
Publication date
[2009]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
東北大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title
半導体材料の高能率超精密切削加工に関する研究
Title Transcription
ハンドウタイ ザイリョウ ノ コウノウリツ チョウセイミツ セッサク カコウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
太田努 [著]
Author Heading
太田, 努 オオタ, ツトム
Publication, Distribution, etc.
[太田努]
Publication Date
[2009]
Publication Date (W3CDTF)
2009
Extent
1冊
Degree grantor/type
東北大学