金属-強誘電体-絶縁体-半導体不揮発素子の素子特性に及ぼす絶縁体堆積雰囲気ガスの効果とシリコン表面窒化の効果の研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 金属-強誘電体-絶縁体-半導体不揮発素子の素子特性に及ぼす絶縁体堆積雰囲気ガスの効果とシリコン表面窒化の効果の研究
• Title Transcription: キンゾク - キョウユウデンタイ - ゼツエンタイ - ハンドウタイ フキハツ ソシ ノ ソシ トクセイ ニ オヨボス ゼツエンタイ タイセキ フンイキ ガス ノ コウカ ト シリコン ヒョウメン チッカ ノ コウカ ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 堀内健史 [著]
• Author Heading: 堀内, 健史 ホリウチ, タケシ
• Publication, Distribution, etc.: [堀内健史]
• Publication Date: [2008]
• Publication Date (W3CDTF): 2008
• Extent: 1冊
• Degree grantor/type: 金沢工業大学
• Date Granted: 平成20年3月18日
• Date Granted (W3CDTF): 2008
• Dissertation Number: 甲第77号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2009-K631
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000010602144; http://id.ndl.go.jp/bib/000010602144
• Bibliographic Record Category (NDL): 213