博士論文

高周波GaAs系ヘテロ接合電界効果トランジスタ用エピタキシャルウェハのMOVPE成長技術に関する研究

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高周波GaAs系ヘテロ接合電界効果トランジスタ用エピタキシャルウェハのMOVPE成長技術に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2009-N877
Bibliographic ID of National Diet Library
000010665246
Material type
博士論文
Author
坂口春典 [著]
Publisher
[坂口春典]
Publication date
[2009]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
大阪大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
コウシュウハ GaAsケイ ヘテロ セツゴウ デンカイ コウカ トランジスタヨウ エピタキシャル ウェハ ノ MOVPE セイチョウ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
坂口春典 [著]
Author Heading
坂口, 春典 サカグチ, ハルノリ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
[2009]
Publication Date (W3CDTF)
2009
Extent
1冊
Degree grantor/type
大阪大学