非水系表面処理液の開発及びシリコン集積素子作製プロセスへの応用に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 非水系表面処理液の開発及びシリコン集積素子作製プロセスへの応用に関する研究
Title Transcription: ヒスイケイヒョウメンショリエキノカイハツオヨビシリコンシュウセキソシサクセイプロセスエノオウヨウニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 渡邊大祐 [著]
Author Heading: 渡邊, 大祐ワタナベ, ダイスケ
Publication, Distribution, etc.: [渡邊大祐]
Publication Date: [2009]
Publication Date (W3CDTF): 2009
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 大阪大学
Date Granted: 平成21年9月25日
Date Granted (W3CDTF): 2009
Dissertation Number: 甲第13825号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2009-N886
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000010665282
http://id.ndl.go.jp/bib/000010665282
Bibliographic Record Category (NDL): 213