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博士論文

酸素イオンアシスト反応性蒸着法による光触媒用TiO2薄膜の高速低温成膜技術の開発に関する研究

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酸素イオンアシスト反応性蒸着法による光触媒用TiO2薄膜の高速低温成膜技術の開発に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2009-P114
Bibliographic ID of National Diet Library
000010688706
Material type
博士論文
Author
境哲也 [著]
Publisher
[境哲也]
Publication date
[2009]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
東京工芸大学,博士 (工学)
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Note (General):

博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
サンソ イオン アシスト ハンノウセイ ジョウチャクホウ ニ ヨル ヒカリ ショクバイヨウ TiO2 ハクマク ノ コウソク テイオン セイマク ギジュツ ノ カイハツ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
境哲也 [著]
Author Heading
境, 哲也 サカイ, テツヤ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
[2009]
Publication Date (W3CDTF)
2009
Extent
1冊
Alternative Title
The study of high-rate and low-temperature deposition of photocatalytic TiO2 thin films using oxygen ion assisted reactive evaporation method