半導体製造装置技術ロードマップ報告書 2010年度

半導体製造装置技術ロードマップ報告書 2010年度

Call No. (NDL): YH233-J2004
Bibliographic ID of National Diet Library: 000010880461

Material type: 電子資料

Author: 日本半導体製造装置協会

Publisher: 日本半導体製造装置協会

Publication date: 2010.4

Material Format: Recording Media

Capacity, size, etc.: CD-ROM 1枚 ; 12cm

NDC: -

Notes on use

Note (General)：: 2008-2009年度活動報告・ITRS2009準拠

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Bibliographic Record

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Recording Media

Material Type: 電子資料
Title: 半導体製造装置技術ロードマップ報告書
Title Transcription: ハンドウタイセイゾウソウチギジュツロードマップホウコクショ
Volume: 2010年度
Author Heading: 日本半導体製造装置協会ニホンハンドウタイセイゾウソウチキョウカイ ( 00293650 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [東京] : 日本半導体製造装置協会
Publication Date: 2010.4
Publication Date (W3CDTF): 2010
Extent: CD-ROM 1枚
Size: 12cm
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Note (Material Type): [電子資料]
Computer File Characteristics: テキスト・データ
NDLC: YH233
Target Audience: 一般
Note (General): 2008-2009年度活動報告・ITRS2009準拠
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: YH233-J2004
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000010880461
http://id.ndl.go.jp/bib/000010880461
National Bibliography No. (JPNO): 21762055
Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
Bibliographic Record Category (NDL): 143