精密液体霧化技術における粒子挙動解析と電子デバイス製造プロセス応用に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 精密液体霧化技術における粒子挙動解析と電子デバイス製造プロセス応用に関する研究
Title Transcription: セイミツエキタイムカギジュツニオケルリュウシキョドウカイセキトデンシデバイスセイゾウプロセスオウヨウニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 宮地計二 [著]
Author Heading: 宮地, 計二ミヤチ, ケイジ
Publication, Distribution, etc.: [宮地計二]
Publication Date: [2010]
Publication Date (W3CDTF): 2010
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 九州大学
Date Granted: 平成22年3月25日
Date Granted (W3CDTF): 2010
Dissertation Number: 甲第9745号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2010-B787
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000010898700
http://id.ndl.go.jp/bib/000010898700
Bibliographic Record Category (NDL): 213