エキシマーレーザアニールによるガラス基板上非晶質シリコン薄膜の結晶化過程に関する基礎的研究

• Material Type: 博士論文
• Title: エキシマーレーザアニールによるガラス基板上非晶質シリコン薄膜の結晶化過程に関する基礎的研究
• Title Transcription: エキシマー レーザ アニール ニ ヨル ガラス キバンジョウ ヒショウシツ シリコン ハクマク ノ ケッショウカ カテイ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
• Author/Editor: 尾方智彦 [著]
• Author Heading: 尾方, 智彦 オガタ, トモヒコ
• Publication, Distribution, etc.: [尾方智彦]
• Publication Date: [2010]
• Publication Date (W3CDTF): 2010
• Extent: 1冊
• Degree grantor/type: 九州大学
• Date Granted: 平成22年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 2010
• Dissertation Number: 甲第9798号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2010-B840
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000010900219; http://id.ndl.go.jp/bib/000010900219
• Bibliographic Record Category (NDL): 213