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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- タソウマク シュウコウ ミラー ニ ヨル コウXセン sub-10nm ビーム ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 半田宗一郎 [著]
- Author Heading
- 半田, 宗一郎 ハンダ, ソウイチロウ
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- [2010]
- Publication Date (W3CDTF)
- 2010
- Extent
- 1冊
- Degree grantor/type
- 大阪大学