Plasma-wall interaction in dry etching equipment and their influence on process performance

• Material Type: 博士論文
• Title: Plasma-wall interaction in dry etching equipment and their influence on process performance
• Author/Editor: Kazuhiro Miwa [著]
• Author Heading: 三輪, 和弘 ミワ, カズヒロ
• Publication, Distribution, etc.: [Kazuhiro Miwa]
• Publication Date: [2010]
• Publication Date (W3CDTF): 2010
• Extent: 1冊
• Alternative Title: ドライエッチング装置における容器内壁-プラズマ相互作用とそのプロセス特性への影響 ドライ エッチング ソウチ ニ オケル ヨウキ ナイヘキ - プラズマ ソウゴ サヨウ ト ソノ プロセス トクセイ エ ノ エイキョウ
• Degree grantor/type: 名古屋大学
• Date Granted: 平成22年2月26日
• Date Granted (W3CDTF): 2010
• Dissertation Number: 甲第8612号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2010-C629
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000010927945; http://id.ndl.go.jp/bib/000010927945
• Bibliographic Record Category (NDL): 213