パルスプラズマCVDによるアダマント薄膜の合成に関する研究

パルスプラズマCVDによるアダマント薄膜の合成に関する研究

Call No. (NDL): UT51-2010-D502
Bibliographic ID of National Diet Library: 000010946888

Material type: 博士論文

Author: 齊藤雅典 [著]

Publisher: [齊藤雅典]

Publication date: [2009]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 東京工業大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: パルスプラズマCVDによるアダマント薄膜の合成に関する研究
Title Transcription: パルスプラズマ CVD ニヨルアダマントハクマクノゴウセイニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 齊藤雅典 [著]
Author Heading: 齊藤, 雅典サイトウ, マサノリ
Publication, Distribution, etc.: [齊藤雅典]
Publication Date: [2009]
Publication Date (W3CDTF): 2009
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 東京工業大学
Date Granted: 平成21年3月26日
Date Granted (W3CDTF): 2009
Dissertation Number: 甲第7580号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2010-D502
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000010946888
http://id.ndl.go.jp/bib/000010946888
Bibliographic Record Category (NDL): 213