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博士論文

チャネルド分光偏光計測法を用いたスナップショット分光エリプソメータの研究

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チャネルド分光偏光計測法を用いたスナップショット分光エリプソメータの研究

Call No. (NDL)
UT51-2010-F562
Bibliographic ID of National Diet Library
000010982982
Material type
博士論文
Author
岡部浩史 [著]
Publisher
[岡部浩史]
Publication date
[2010]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
北海道大学,博士 (工学)
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Note (General):

博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
チャネルド ブンコウ ヘンコウ ケイソクホウ オ モチイタ スナップショット ブンコウ エリプソメータ ノ ケンキュウ
Author/Editor
岡部浩史 [著]
Author Heading
岡部, 浩史 オカベ, ヒロシ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
[2010]
Publication Date (W3CDTF)
2010
Extent
1冊
Alternative Title
A study on snapshot spectroscopic ellipsometer using channeled spectropolarimetry