原子状水素を用いたレジスト除去に関する研究

原子状水素を用いたレジスト除去に関する研究

Call No. (NDL): UT51-2010-G426
Bibliographic ID of National Diet Library: 000010990694

Material type: 博士論文

Author: 山本雅史 [著]

Publisher: [山本雅史]

Publication date: [2010]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 金沢工業大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 原子状水素を用いたレジスト除去に関する研究
Title Transcription: ゲンシジョウスイソオモチイタレジストジョキョニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 山本雅史 [著]
Author Heading: 山本, 雅史ヤマモト, マサシ
Publication, Distribution, etc.: [山本雅史]
Publication Date: [2010]
Publication Date (W3CDTF): 2010
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 金沢工業大学
Date Granted: 平成22年3月18日
Date Granted (W3CDTF): 2010
Dissertation Number: 甲第85号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2010-G426
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000010990694
http://id.ndl.go.jp/bib/000010990694
Bibliographic Record Category (NDL): 213