高精度マスク技術による光リソグラフィの延命化に関する研究

高精度マスク技術による光リソグラフィの延命化に関する研究

Call No. (NDL): UT51-2010-G842
Bibliographic ID of National Diet Library: 000010992484

Material type: 博士論文

Author: 宮崎順二 [著]

Publisher: [宮崎順二]

Publication date: [2010]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 長岡技術科学大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 高精度マスク技術による光リソグラフィの延命化に関する研究
Title Transcription: コウセイドマスクギジュツニヨルヒカリリソグラフィノエンメイカニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 宮崎順二 [著]
Author Heading: 宮崎, 順二ミヤザキ, ジュンジ
Publication, Distribution, etc.: [宮崎順二]
Publication Date: [2010]
Publication Date (W3CDTF): 2010
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 長岡技術科学大学
Date Granted: 平成22年3月25日
Date Granted (W3CDTF): 2010
Dissertation Number: 甲第535号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2010-G842
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000010992484
http://id.ndl.go.jp/bib/000010992484
Bibliographic Record Category (NDL): 213