プラズマエッチングプロセスにおけるカーボン系材料とプラズマとの相互作用に関する研究

プラズマエッチングプロセスにおけるカーボン系材料とプラズマとの相互作用に関する研究

Call No. (NDL): UT51-2010-J66
Bibliographic ID of National Diet Library: 000011015970

Material type: 博士論文

Author: 曽田栄一 [著]

Publisher: [曽田栄一]

Publication date: [2009]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 東北大学,博士 (工学)

Notes on use

Note (General)：: 博士論文

Search by Bookstore

Search by Bookstore

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type: 博士論文
Title: プラズマエッチングプロセスにおけるカーボン系材料とプラズマとの相互作用に関する研究
Title Transcription: プラズマエッチングプロセスニオケルカーボンケイザイリョウトプラズマトノソウゴサヨウニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 曽田栄一 [著]
Author Heading: 曽田, 栄一ソダ, エイイチ
Publication, Distribution, etc.: [曽田栄一]
Publication Date: [2009]
Publication Date (W3CDTF): 2009
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 東北大学
Date Granted: 平成21年9月9日
Date Granted (W3CDTF): 2009
Dissertation Number: 甲第13117号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2010-J66
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000011015970
http://id.ndl.go.jp/bib/000011015970
Bibliographic Record Category (NDL): 213