Surfactant-modified etch solution controlling the anisotropy of single crystal silicon etching : working mechanism and MEMS applications

• Material Type: 博士論文
• Title: Surfactant-modified etch solution controlling the anisotropy of single crystal silicon etching : working mechanism and MEMS applications
• Author/Editor: Bin Tang [著]
• Author Heading: 唐, 彬 タン, ビン
• Publication, Distribution, etc.: [Bin Tang]
• Publication Date: [2010]
• Publication Date (W3CDTF): 2010
• Extent: 1冊
• Alternative Title: シリコン単結晶エッチングの異方性を制御する界面活性剤添加エッチング液 : 作用原理とMEMS応用 シリコン タンケッショウ エッチング ノ イホウセイ オ セイギョスル カイメン カッセイザイ テンカ エッチングエキ : サヨウ ゲンリ ト MEMS オウヨウ
• Degree grantor/type: 名古屋大学
• Date Granted: 平成22年9月28日
• Date Granted (W3CDTF): 2010
• Dissertation Number: 甲第8956号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• Alias of Author: Tang, Bin
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2010-M54
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000011079432; http://id.ndl.go.jp/bib/000011079432
• Bibliographic Record Category (NDL): 213