スパッタ法による高機能透明酸化物薄膜の成膜プロセスの研究

Notes on use

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 博士論文
Title: スパッタ法による高機能透明酸化物薄膜の成膜プロセスの研究
Title Transcription: スパッタホウニヨルコウキノウトウメイサンカブツハクマクノセイマクプロセスノケンキュウ
Author/Editor: 伊藤宜弘 [著]
Author Heading: 伊藤, 宜弘イトウ, ノリヒロ
Publication, Distribution, etc.: [伊藤宜弘]
Publication Date: [2010]
Publication Date (W3CDTF): 2010
Extent: 1冊
Alternative Title: Study on sputtering process of high performance transparent oxide films by magnetron sputtering
Degree grantor/type: 青山学院大学
Date Granted: 平成22年9月25日
Date Granted (W3CDTF): 2010
Dissertation Number: 甲第207号
Degree Type: 博士 (理学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2010-M767
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000011089914
http://id.ndl.go.jp/bib/000011089914
Bibliographic Record Category (NDL): 213